影響射頻線圈的傳輸工作的因素
射頻線圈是用于傳輸高頻能量到等離子體的物品,在這一工作的過程中,影響傳輸?shù)囊蛩赜幸韵氯齻€方面。
1、同軸精度和定位精度,關(guān)于形成準(zhǔn)確形狀的和穩(wěn)定的等離子炬非常重要,這要求更換后的射頻線圈必須置于同樣的位置;
2、精確的尺度,射頻線圈作為射頻發(fā)生器的一部分,其尺度在調(diào)諧電路中也是非常重要的。尺度的微小改變可對電阻或電感產(chǎn)生小變動,通常在系統(tǒng)的調(diào)諧電路中可得到補償;
3、基本金屬或鍍層,射頻能量的最有效導(dǎo)體是純銀,其次是鍛銅,而這些材質(zhì)的傳導(dǎo)性差別非常小。
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